09:30 〜 11:30 [12a-PA2-47] トレンチを用いたボトムゲート型グラフェン共振器の作製と特性評価 〇古川 篤1、宮下 寛也1、アハメド ハマム1、マノハラン ムルガナタン1、槇 恒2、水田 博1,3 (1.北陸先端大、2.太陽誘電(株)、3.日立ケンブリッジ研)