[12a-A405-1~11] 12.2 評価・基礎物性

△ [12a-A405-5] ケルビンプローブフォース顕微鏡によるアルキルフタロシアニン塗布薄膜の界面物性評価Ⅱ

〇石裏 遼¹、正能 拓馬¹、藤井 彰彦¹、有田 誠²、須藤 孝一³、尾﨑 雅則¹ (1.阪大院工、2.九大院工、3.阪大産研)

キーワード：有機半導体、フタロシアニン、ケルビンプローブ顕微鏡

電子デバイス応用に向けて有機半導体塗布薄膜の界面物性の解明は重要である。本研究ではn-Si及びHOPG基板上にアルキルフタロシアニン単結晶塗布薄膜を作製し、KFM観察を行うことによって、溶液プロセスで作製される有機半導体薄膜の界面物性の解明に成功した。表面電位差は膜厚に依存して変化し、仕事関数が等価なn-SiとHOPGで同様の膜厚依存性を示したことから、有機半導体と電極との仕事関数差が重要な因子と示唆された。