[13a-D305-1~10] 9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート

△ [13a-D305-4] ナノ接合の熱伝導度測定のための懸垂型素子の開発

〇(D)花村 友喜¹、山田 亮¹、夛田 博一¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：原子接合、熱伝導度、微細加工

本研究では、原子スケールのナノ接合の熱伝導度の計測に向けて、サブミクロンスケールの測定系を真空中に吊り下げた懸垂型素子を開発した。微小熱電対とロックイン計測を組み合わせることで、高精度の温度計測を実現した。ナノ接合の元となる金属細線の計測結果や、素子設計上の工夫について述べる。