[13a-PA2-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-PA2-3] プロトン伝導性SrZr_0.8Y_0.2O_3-δ薄膜の低温結晶化

〇水口 天翔¹、佐藤 和史¹、内山 潔¹ (1.鶴岡工業高等専門学校)

キーワード：強誘電体、高誘電率薄膜、薄膜

本研究ではSZYOを室温でアモルファス成膜し, その後アニール処理で結晶化させることで柱状成膜を抑制し薄膜の導通を防ぐことを目的とした. SZYOを成膜しアニールした際の温度比較, また大気アニール, 真空アニールでのX線回折強度比較について報告する.