[15a-A202-1~8] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

△ [15a-A202-1] CaSi₂粉末のMnCl₂/NH₄Cl雰囲気処理によるMnSi_1.7/Siナノシート束の作製

〇伊藤 聖悟¹、西川 勇大²、沼澤 有信¹、志村 洋介^1,2,3、高橋 尚久⁴、立岡 浩一¹ (1.静大院工、2.静大工、3.静大電研、4.ヤマハ発動機先進材料研)

キーワード：シリサイド半導体、ナノシート

Si系ナノ構造物は毒性がなく資源豊富な材料からなる代表的な物質であり、低次元材料で発現する新しい物性を利用したデバイスへの応用が期待されている。一方MnSi_1.7は、環境に優しい熱電材料として注目されている。これまでSiナノシート束をNH₄Clを用いてCaSi₂よりCaを脱離する事により、またMnSi_1.7をMnCl₂を用いた熱処理によりSi基板上に作製してきた。本研究ではこれらを組み合わせることによりMnSi_1.7/Siナノシート束を作製し微細構造を評価した。