[15a-PB2-1~22] 8 プラズマエレクトロニクス

[15a-PB2-15] 時空間分解発光分光測定による液中プラズマの電子密度/電子温度推定

〇(D)井上 健一^1,2、高橋 史音¹、榊原 教貴^1,2、都甲 将¹、伊藤 剛仁^1,2、寺嶋 和夫^1,2 (1.東大新領域、2.産総研)

キーワード：液中プラズマ、発光分光測定、パルス放電

液中プラズマプロセスにおいて電子はラジカル生成反応等に寄与する重要な化学種であり、電子密度・電子温度計測はプロセスの最適化に不可欠である。本研究では発光分光測定を用いて、液中プラズマの電子密度・電子温度の時間変化・空間分布の計測を行った。特に発光に含まれる連続スペクトルと制動輻射の理論式を用いて、液中プラズマの電子温度分布の測定を目指した。