13:00 〜 14:40 [22p-P01-2] 水晶振動子質量測定によるFe2O3室温ALDの表面反応評価 〇(PC)吉田 一樹1,2、永田 一成1、齋藤 健太郎1,2、三浦 正範3、鹿又 健作3、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.学振特別研究員、3.山形大ROEL)