[10p-N103-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[10p-N103-4] 中赤外面発光型量子カスケードレーザの動作特性評価と解析

〇斎藤 真司¹、金子 桂¹、橋本 玲¹、角野 努¹、谷村 景貴²、高木 茂行²、池田 直樹³、杉本 喜正³、間野 高明³、黒田 隆³、迫田 和彰³ (1.東芝生産技術センター、2.東京工科大、3.物材研)

キーワード：量子カスケードレーザー、フォトニック結晶、半導体レーザー

円柱型PCを備える量子カスケードレーザの試作を行い、発振特性を評価、解析を行ったので報告する。素子温度77Kでパルス電流駆動した面発光型QCLの発振スペクトルは単一ピークであった。遠視野像はトーラス状で、直上に放射が禁止されるモードと考えている。また、面発光レーザの特徴である1.5°以下の非常に狭い放射角が観測されている。このほか発振特性に影響を与える吸収ロスなど発振特性の評価と解析結果を報告する。