[10p-N322-1~16] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[10p-N322-1] 高出力パルスマグネトロンスパッタリングの放電時間解析

〇實方 真臣¹、西田 寛¹、渡部 達也¹、中込 雄基¹、平井 芳拓²、西宮 信夫¹、戸名 正英²、平田 直之²、山本 宏晃²、塚本 恵三²、冨宅 喜代一³、大下 慶次郎⁴、美齊津 文典⁴ (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

キーワード：パルススパッタリング、スパッタリングプラズマ、遅延放電

イオン化物理蒸着法の一つである高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)において、変調パルス電力マグネトロンスパッタリング法(MPPMS)は、優れた耐アーキング性能を兼ね備えたロングパルスHPPMSとして注目されている。本研究では、MPPMSプラズマのイオン化率向上に適う放電波形の最適化を目的として、放電の波形特性・時間特性およびプラズマの発光分光特性のAr圧依存性を検討した。