[10p-N406-1~18] 9.4 熱電変換

△ [10p-N406-1] 拡散剤を用いた多結晶Ge 薄膜の伝導制御と熱電応用

〇小澤 知輝¹、今城 利文¹、末益 崇¹、都甲 薫¹ (1.筑波大院 数理物質)

キーワード：ゲルマニウム、拡散剤、伝導制御

多結晶Geは狭バンドギャップゆえ、潜在的に室温で高い熱電性能を示すが、高ドープが困難なためにその熱電特性は未解明であった。本研究では、多結晶Ge膜における高度な固相成長法技術に拡散剤を用いたドーピング手法を活用することで、p型とn型の両方で広範囲のフェルミ準位制御を実現した．多結晶Geにおける熱電特性とキャリア濃度との関係を明らかにし、さらに高い出力因子を達成したので報告する。