[19a-Z27-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-Z27-7] AlN単結晶上にHVPE成長させたSi添加AlN基板の発光特性

〇秩父 重英¹、嶋 紘平¹、小島 一信¹、Moody Baxter²、三田 清二²、Collazo Ramon³、Sitar Zlatko³、熊谷 義直⁴、上殿 明良⁵ (1.東北大多元研、2.Adroit Materials、3.NC State University、4.東京農工大院工、5.筑波大数物)

キーワード：半導体、AlN、CLスペクトル

AlN単結晶上にHVPE成長させたSi添加AlN基板のCLスペクトルを、陽電子消滅法により得られた点欠陥の情報とつきあわせて説明する。