2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[19p-P02-1~22] 17 ナノカーボン(ポスター)

2021年3月19日(金) 14:00 〜 14:50 P02 (ポスター)

14:00 〜 14:50

[19p-P02-6] マイクロ波プラズマ CVD 法による窒素ドープグラフェンの成膜

アディカリ スディープ1,2、朱 儒成1,2、ウィシュワカルマ リテシ ュ1、梅野 正義1 (1.シーズテクノ、2.中部大)

キーワード:窒素ドープグラフェン、マイクロ波プラズマCVD法