2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[M-4] 東ソー(株)

■パワー半導体、FEMT、発光素子などに期待される高純度GaNターゲット。高抵抗、高安全性を実現可能なCrSiターゲット、各種透明導電膜用ターゲットなど。