[22a-F408-1~6] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[22a-F408-3] [分科内招待講演] 3D複雑形状を有するシリカガラスの光造形技術

〇藤野 茂¹ (1.九州大学GIC)

キーワード：シリカガラス、付加製造技術、光造形法

シリカガラスは光学的透明性、機械的強度、耐熱性、耐薬品性などの物性において優れるため、光学部品・電子部材・半導体製造分野にて用いられてきた。しかし、その強度の高さは加工を困難にするため、シリカガラスの加工製品は極めて高価になり、用途が限定されていた。本研究では、​切削加工不要、カーボンニュートラルを目指した3D複雑形状を有するシリカガラスの光造形技術ついて述べる。