14:00 〜 14:15 △ [15p-D511-2] 陽極酸化を用いたSiワイヤ形成における転位とワイヤ断面形状の関係 〇(B)河内 美由紀1、緑 彩帆1、鈴木 俊明1、丹羽 雅昭1、本橋 光也1 (1.東京電機大工)