[D03] 高電界光陰極直流電子銃のための無塵化予備試験
キーワード:微小ダスト, 高電界直流電子銃
最先端の電子ビーム駆動型光源で要求される電子ビームを生成するには、光陰極直流電子銃の高電界化が必須である。しかし、電子銃の高電界化は、真空容器中に残留するダストにより制限されている。これは、真空容器中に残留しているダストが何らかの原因でカソード電極に付着し、電子の電界放出源となるためである。従って、無塵化により光陰極直流電子銃の高電界化が実現されると考えられる。そこで、無塵化のための予備試験を行ったので、その結果について報告する。