[D01-06] 加速空胴，ビーム制御

[D06] Developement of a nano-beam analysis system

^〇shigeo matsuyama¹, keizo ishii¹, atsuki terakawa¹, koji watanabe¹, shigeki koshio¹, kosuke kikuchi¹, syunn oshikawa¹, masanori fujisawa¹, taishi ishiya¹, takao nagaya¹ (1.Department of Quantum Energy Engineering School of Engneering Tohoku University)

Keywords:accelerater, nano-beam

我々は、2002年にマイクロビーム分析システムを開発し、医学、生物、植物、環境分野への応用を進めてきた。これまで、400nm以下の空間分解能を達成していたが、1ミクロン以下のビーム径では分析に必要とするビーム電流が確保できなかった。そこで新たに四重極レンズを１台加えトリプレットシステムとすることと、ビームのエネルギー分解能の向上によりビームの縮小化と大電流化を図り数100nm程度での分析を目指している。これまで途中経過について報告していたが、今回レンズシステムとビームのエネルギー安定度のさらなる改良を図ったので報告する。