[D01-06] 加速空胴，ビーム制御

[D06] ナノビーム分析システムの開発

^〇松山成男¹, 石井慶造¹, 寺川貴樹¹, 渡部浩司¹, 小塩成基¹, 菊池航介¹, 押川峻¹, 藤澤政則¹, 石屋大志¹, 永谷隆男¹ (1.東北大工学研究科量子エネルギー工学専攻)

キーワード：加速器, ナノビーム

我々は、2002年にマイクロビーム分析システムを開発し、医学、生物、植物、環境分野への応用を進めてきた。これまで、400nm以下の空間分解能を達成していたが、1ミクロン以下のビーム径では分析に必要とするビーム電流が確保できなかった。そこで新たに四重極レンズを１台加えトリプレットシステムとすることと、ビームのエネルギー分解能の向上によりビームの縮小化と大電流化を図り数100nm程度での分析を目指している。これまで途中経過について報告していたが、今回レンズシステムとビームのエネルギー安定度のさらなる改良を図ったので報告する。