[2N10-16] 材料・デバイス分析

[2N14] フェムト秒電子線パルスによるTEMイメージング

*楊 金峰¹、浅川 稜¹、菅 晃一¹、近藤 孝文¹、神戸 正雄¹、吉田 陽一¹、谷村 克己¹ (1.阪大産研)

キーワード：電子顕微鏡、フェムト秒電子ビーム、フォトカソードRF電子銃

我々は、相対論的なエネルギーのフェムト秒短パルス電子ビームを用いた超高速電子顕微鏡を開発し、物質における超高速で進行する構造相転移や反応過程に関する研究を推進している。本大会では、フォトカソード高周波（RF）電子銃を用いたフェムト秒超短パルス電子ビームの発生と、それによる透過型電子顕微鏡のイメージングの実験結果について報告する。