[2M01-05] Accelerator, beam acceleration

[2M04] Fabrication of two dimensional nano-scale photocathode arrays in transparent conductor for high coherence beam generation

＊Tatsunori Shibuya¹, Noriyosu Hayashizaki², Mitsuhiro Yoshida³ (1.Tokyo Tech, 2.RLNR Tokyo Tech, 3.KEK)

Keywords:Electron source, Laser, Nanofabrication

電子線回折や電子線ホログラフィーにおける電子ビームの品質は、横方向のコヒーレンス長によって評価される。光陰極では、レーザーの回折現象によって電子光源サイズが制限されるため、光源サイズに依存する横コヒーレンス長も同時に制限を受ける。我々は、FIBを用いた微細加工を活用し、光源となる陰極を極小化する方法を提案している。本講演では、この微細加工を施した光陰極の製作工程について報告する。