[2M01-05] 加速器・ビーム加速技術

[2M04] 高コヒーレンスビーム生成のための２次元配列ナノスケール光陰極の製作

＊澁谷 達則¹、林崎 規託²、吉田 光宏³ (1.東京工業大学、2.東京工業大学　原子炉工学研究所、3.高エネルギー加速器研究機構)

キーワード：電子源、レーザー、微細加工

電子線回折や電子線ホログラフィーにおける電子ビームの品質は、横方向のコヒーレンス長によって評価される。光陰極では、レーザーの回折現象によって電子光源サイズが制限されるため、光源サイズに依存する横コヒーレンス長も同時に制限を受ける。我々は、FIBを用いた微細加工を活用し、光源となる陰極を極小化する方法を提案している。本講演では、この微細加工を施した光陰極の製作工程について報告する。