[2M10-16] 放射線イメージング

[2M15] 中性子反射投影による埋もれた界面の可視化

＊水沢 まり¹、桜井 健次² (1.CROSS東海、2.物材機構)

キーワード：中性子反射率法、イメージング

薄膜・多層膜の機能は、基本的な膜構造が同じであっても各層・各界面の不均一さにより左右される場合が少なくないため、埋もれた層・界面を可視化する技術、特に非破壊的な測定技術が必要である。こうした課題には、大きなビームを使う中性子反射率法の特色を生かして、矩形状の反射中性子の1次元投影プロファイルを収集し、数学的演算により試料内の反射強度分布を画像化する方法が有望である。特に白色パルス中性子を用いる場合は、一度に全ｑz領域のデータが得られ、異なるコントラストの画像を同時に取得できる利点がある。