[3M01-06] ビーム計測

[3M05] RBS法によるナノ構造Pd多層薄膜上の重元素分析

＊岩村 康弘¹、笠木 治郎太¹、鶴我 薫典²、伊藤 岳彦¹、菊永 英寿¹、田島 龍¹、本多 佑記¹ (1.東北大学　電子光理学研究センター、2.三菱重工業（株）)

キーワード：RBS法、ナノ構造Pd多層膜

ナノ構造Pd多層薄膜上の質量数130以上の重元素をRBS法により初めて分析した。この薄膜には予めCs等の元素を添加に重水素を透過させた後にPrが検出された薄膜である。今後の詳細な検証が必要ではあるが、ICP-MSで計測されたPrがRBS法によっても確認され、さらに別の元素が検出された可能性がある。