[2L14-19] 検出器開発

[2L14] 8mm角CVDダイヤモンド単結晶基板上にホモエピタキシャル成長させた試料の電荷キャリア輸送特性評価

*平野 慎太郎²、金子 純一¹、嶋岡 毅紘²、新名 宏章²、坪田 雅功¹、伊藤 彰悟²、茶谷原 昭義³、杢野 由明³、梅沢 仁³ (1. 北海道大学大学院工学研究院、2. 北海道大学大学院工学院、3. 産業技術総合研究所)

キーワード：放射線検出器、ダイヤモンド

ダイヤモンド放射線検出器は高い耐放射線性や高温環境下での動作といった優れた特性が期待されるが、流通する検出器の有感面積は5mm角程度と制限されている。本研究では検出器大型化の試みとしてelement six社が販売しているGeneralグレードの8mm角基板を使用し、その上にダイヤモンドをホモエピタキシャル成長させた試料の電荷キャリア輸送特性をα線誘導電荷量分布測定を用いて評価した。試料の電荷収集効率は電子正孔ともに99.9%だった。μτ積は正孔が(5.0±0.4)×10⁵㎝²/Vであり、HP/HT IIa型基板上に同条件でCVD合成した試料の最良値である(3.1±0.5)×10⁴㎝²/Vと比較して大幅に低下した。これは基板の結晶品質の影響を受けたものと考えられる。