[2N11-17] 加速器を用いた各種測定・非破壊検査

[2N11] 構造材料計測用マイクロイオンビーム分析装置によるビーム収束試験と材料組成分析

*笹 公和¹、山崎 明義¹、石井 聰¹、黒澤 正紀¹、冨田 成夫¹、楢本 洋¹、左高 正雄¹、工藤 博¹、志岐 成友²、大久保 雅隆² (1. 筑波大学、2. 産総研)

キーワード：マイクロイオンビーム、イオンビーム分析、構造材料、水素、軽元素

筑波大学において、構造材料計測のためのマイクロイオンビーム分析装置の開発を進めている。分析装置にはマイクロイオンビーム形成用3連四重極電磁石と軟X線用検出器が設置されており、構造材料中の軽元素および微量添加元素のPIXE及びERDA分析を実施する。ビーム収束試験では、3 MeVのプロトンビームを用いて直径約1.5 μmを達成している。検出器は軽元素PIXE分析が可能なシリコンドリフト検出器が導入されている。また、より高いエネルギー分解能を有する超伝導トンネル接合型検出器の開発を産総研と共同で進めている。本発表では、構造材料計測用マイクロイオンビーム分析装置におけるビーム収束試験と材料組成元素の2次元イメージング測定結果について報告する。