[1C06-10] マイクロビーム・ナノ構造分析

[1C10] 構造材料計測用イオンビーム分析装置の開発

*笹 公和¹、山崎 明義¹、石井 聰¹、黒澤 正紀¹、冨田 成夫¹、左高 正雄¹、楢本 洋¹、工藤 博¹ (1. 筑波大)

キーワード：イオンビーム分析、構造材料、水素・軽元素分析、マイクロビーム

筑波大学6 MVタンデム加速器において、航空機などで使用される構造材料計測のためのイオンビーム分析装置の開発を進めている。イオンビーム分析法として、RBS、ERDA、PIXE、NRA等を組み合わせて実施できる予定である。開発計画では、2台のイオンビーム分析装置を整備する。そのうち1台は、マイクロビームの形成が可能であり、超伝導トンネル接合(STJ)検出器とBGO検出器を用いて、水素・軽元素のイメージング測定も可能な設計となっている。本報告では、筑波大学における構造材料計測用イオンビーム分析装置の整備計画と開発状況について紹介する。