[1L07-09] Beam Diagnostics and Accelerator Technology

[1L09] Progress report of a negative ion generation technique in a compact ion microbeam system

*Takeru Ohkubo¹, Yasuyuki Ishii¹ (1. QST)

Keywords:microbeam, acceleration lens, Proton Beam Writing, Particle Induced X-ray Emission, compact

イオンビームを数百keVに加速しながら1μm径に集束する小型イオンマイクロビーム装置で、ビーム径の縮小化を目的として水素負イオンマイクロビーム形成を試みた結果、ガスイオン源と直結しているビーム引出部分の低真空によりビームの大半が散乱、中性化されてしまうことが示唆されたことから、真空度を改善して負イオンビーム発生実験を行った。