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[1M10] フェライト相中の溶質原子クラスタ定量評価に対するEDSトモグラフィの適用性の検討
キーワード:原子炉圧力容器、2相ステンレス鋼、照射脆化、溶質原子クラスタ、アトムプローブ、TEM、EDSトモグラフィ
中性子照射を受けた原子炉圧力容器(RPV)鋼や、中性子照射や長時間の熱に晒された2相ステンレス鋼等において、フェライト相中に微小な溶質原子クラスタが形成され、脆化の要因となることが知られている。
これらのクラスタの評価には3次元アトムプローブ(3DAP)が用いられているが、3DAPは測定可能な領域が比較的狭いことから、クラスタの形成状況によっては膨大な数の分析を行う必要が生じる可能性がある。
近年、材料内部の化学組成を3次元的に評価可能な手法として、EDSトモグラフィの開発が進められてきた。これは、試料を傾斜させながらEDSによる2次元元素マップを取得しトモグラフ処理を行う手法であり、試料を消耗することなく、かつ比較的広い範囲を分析可能である。
本研究では、クラスタ定量評価に対するEDSトモグラフィの適用性について、種々の検証試験を行うことにより検討した。
これらのクラスタの評価には3次元アトムプローブ(3DAP)が用いられているが、3DAPは測定可能な領域が比較的狭いことから、クラスタの形成状況によっては膨大な数の分析を行う必要が生じる可能性がある。
近年、材料内部の化学組成を3次元的に評価可能な手法として、EDSトモグラフィの開発が進められてきた。これは、試料を傾斜させながらEDSによる2次元元素マップを取得しトモグラフ処理を行う手法であり、試料を消耗することなく、かつ比較的広い範囲を分析可能である。
本研究では、クラスタ定量評価に対するEDSトモグラフィの適用性について、種々の検証試験を行うことにより検討した。