[3O01-07] Application and Measurement of Quantum Beam

[3O03] Study on radiation-induced reaction processes of ligands of metal oxide resist

*Kengo Ikeuchi¹, Yusa Muroya¹, Takahiro Kozawa¹, Shinichi Yamashita², Yoshitaka Komuro³, Daisuke Kawana³, Akiyoshi Yamazaki³ (1. Osaka Univ., 2. Univ. Tokyo, 3. Tokyo Ohka )

Keywords:Insolubilization, Metal resist, Carboxylic acid ligands, Pulse radiolysis, Radiation-induced reaction

近年、EUVリソグラフィーの分野において、EUVに対する感度やエッチング耐性が高いメタルレジストが注目されている。しかし、先行研究から、ビーム照射によってカルボン酸配位子の構造が変化し、不溶化に影響を与えるいくつかの仮説が提唱されているが詳細はよく分かっていない。そこで本研究では、パルスラジオリシス法を用いて、各種カルボン酸配位子の放射線誘起反応について、調べた。