[3O01-07] 量子ビーム利用・計測

[3O03] メタル酸化物レジスト配位子の放射線誘起反応過程の解明

*池内 健吾¹、室屋 裕佐¹、古澤 孝弘¹、山下 真一²、小室 嘉崇³、川名 大助³、山﨑 晃義³ (1. 阪大、2. 東大、3. 東京応化)

キーワード：不溶化、メタルレジスト、カルボン酸配位子、パルスラジオリシス、放射線誘起反応

近年、EUVリソグラフィーの分野において、EUVに対する感度やエッチング耐性が高いメタルレジストが注目されている。しかし、先行研究から、ビーム照射によってカルボン酸配位子の構造が変化し、不溶化に影響を与えるいくつかの仮説が提唱されているが詳細はよく分かっていない。そこで本研究では、パルスラジオリシス法を用いて、各種カルボン酸配位子の放射線誘起反応について、調べた。