[3J01-06] SiC 1

[3J02] R&D of anti-corrosion technology for full-ceramics reactor core

(2)Deposition of ceramics protective layers on silicon carbide substrates by chemical vapor deposition

Ryutaro Usukawa¹, *Hirokazu Katsui¹, Mikinori Hotta¹, Kazuya Shimoda², Sosuke Kondo³ (1. National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 2. National Institute for Materials Science, 3. Tohoku University)

Keywords:Ceramics coating, Chemical vapor deposition, Alumina, Silicon carbide, Laser, Microstructure

次世代炉心構造材として期待されるSiCに対して、耐高温高圧水性に優れる防食層の被覆技術開発を目指し、化学気相析出によりセラミックス被覆層を合成し、成膜条件が被覆構造に及ぼす影響を調べた。