[2PA-068] 有機無機ハイブリッド樹脂とCu触媒を用いたPTFE基板上への銅めっき微細配線の形成
ポスター
キーワード：アンモニア雰囲気下でのエキシマランプ照射、PTFE表面へのCu吸着、無電解銅めっきによる銅膜形成、フォトリソグラフィによる微細配線の形成
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