[2PA-069] アンモニア中エキシマ光照射によるPTFEの親水化とPd触媒を用いたCuめっき配線の形成
ポスター
キーワード：PTFEの親水化、アンモニア中エキシマ光照射、Pd吸着、無電解銅めっき、フォトリソグラフィー
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