11:30 〜 11:40
[3D5-16] 垂直成長構造体をマスクとしたウェットエッチングにおける実験パラメータの検討
口頭A講演
PC接続時間:11:10~11:20
キーワード:Langmuir-Blodgett膜、ミクロ相分離、自己組織化、表面ゾルゲル反応、ウェットエッチング
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