PDF ダウンロード スケジュール 4 15:40 〜 15:50 [1E2-41] DFT法によるCVD炉内における結晶成長を阻害する反応の解析 01.口頭A講演 ○藤村 祥貴・国吉 ニルソン・山口 勉功・不破 章雄 (早大院創造理工) PC接続時間:15:20~15:30 キーワード:表面反応、エッチング、脱着反応