PDF ダウンロード スケジュール 0 09:10 〜 09:20 [2G1-02] 遷移金属内包シリコンケージナノクラスターの精密大量合成 01.口頭A講演 ○高野 涼太・平田 直之・角山 寛規・渋田 昌弘・水畑 吉行・時任 宣博・中嶋 敦 (慶大理工・京大化研・慶大KiPAS) PC接続時間:08:50~09:00 キーワード:マグネトロンスパッタリング、ナノクラスター、シリコン、タンタル、チタン