[1PB-009] アルカリ水溶液現像型の反応現像画像形成法に基づく新規脂環式ポリイミドの微細パターンの形成
ポスター
キーワード:脂環式ポリイミド、反応現像画像形成、フォトリソグラフィー、高溶解性、無色
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アカデミック・プログラム(AP)[ポスター]
高分子
2019年3月16日(土) 12:30 〜 14:00 P (講堂兼体育館 (1F) アリーナ)
発表時間:奇数番号12:30-13:15 / 偶数番号 13:15-14:00
キーワード:脂環式ポリイミド、反応現像画像形成、フォトリソグラフィー、高溶解性、無色
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