S10. マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
Tue. Sep 25, 2018 1:00 PM - 2:00 PM I会場 (108教室)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
1:00 PM - 1:15 PM
〇浅井 開1、栄長 泰明1 (1. 慶應大学理工学部)
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1:15 PM - 1:30 PM
〇大谷 智博1、工藤 亮介2、福中 康博3、本間 敬之1,2,3 (1. 早稲田大学先進理工学研究科先進理工学専攻、2. 早稲田大学先進理工学部応用化学科、3. 早稲田大学ナノ・ライフ創新研究機構)
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1:30 PM - 1:45 PM
〇野崎 晃太1、湖山 貴之1、Khoo Pei Loon1、品川 勉1、伊﨑 昌伸1 (1. 豊橋技術科学大学)
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1:45 PM - 2:00 PM
〇溝口 拓哉1、鯉沼 陸央1、伊田 進太郎1 (1. 熊本大学自然科学教育部)
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