S10. マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
Tue. Sep 25, 2018 3:30 PM - 4:45 PM I会場 (108教室)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．
3:30 PM - 3:45 PM
〇渡久地 政周1、武田 健太郎1、佐藤 威友1 (1. 北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター)
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3:45 PM - 4:00 PM
〇森 哲也1、品川 勉1,2、伊﨑 昌伸1 (1. 豊橋技術科学大学、2. 大阪産業技術研究所)
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4:00 PM - 4:15 PM
〇古賀 あかね1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. 首都大都市環境)
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4:15 PM - 4:30 PM
〇大橋 永護1 (1. 金沢工業大学大学院)
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4:30 PM - 4:45 PM
〇齊藤 真希1、富山 智大1、椎木 弘1 (1. 阪府大院工)
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