ECSJ Fall Meeting, 2018

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S10. マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

【マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション3(一般講演3)

Tue. Sep 25, 2018 2:00 PM - 3:15 PM I会場 (108教室)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

2:15 PM - 2:30 PM

[1I12] 電子線還元法による円柱状ナノ空間内へのPtナノ粒子形成

〇山本 春也1、田口 富嗣1、越川 博1、佐藤 裕真1,2、出崎 亮1、八巻 徹也1 (1. 量子科学技術研究開発機構、2. 群馬大学)