ECSJ Fall Meeting, 2018

Presentation information

Cancelled

S10. マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

【マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション3(一般講演3)

Tue. Sep 25, 2018 2:00 PM - 3:15 PM I会場 (108教室)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

2:30 PM - 2:45 PM

[1I13] イオン液体/金属スパッタリングによる酸化ビスマス中空ナノ粒子の作製

〇中山 勝利1,2、亀山 達矢1、桑畑 進3、鳥本 司1,2 (1. 名古屋大学大学院工学研究科、2. 名古屋大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー、3. 大阪大学大学院工学研究科)