ECSJ Fall Meeting, 2018

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S10. マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

【マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション4(一般講演4)

Tue. Sep 25, 2018 3:30 PM - 4:45 PM I会場 (108教室)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

3:45 PM - 4:00 PM

[1I17] 遷移金属元素を導入したZnO系ナノポーラス膜の作製

〇森 哲也1、品川 勉1,2、伊﨑 昌伸1 (1. 豊橋技術科学大学、2. 大阪産業技術研究所)