ECSJ Fall Meeting, 2018

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S5. 固体化学の基礎と応用-固体材料の合成・物性・反応性

【固体化学の基礎と応用-固体材料の合成・物性・反応性】
セッション7(一般講演7)

Wed. Sep 26, 2018 9:00 AM - 10:00 AM B会場 (103教室)

主催:固体化学の新しい指針を探る研究会

9:15 AM - 9:30 AM

[2B02] 反応性スパッタリング法により作製したAlN薄膜の水素透過性の評価

〇齋藤 美玖1、青木 芳尚1、朱 春宇1、幅崎 浩樹1 (1. 北海道大学)