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S14. マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術

【マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション1（一般講演1）

Fri. Mar 9, 2018 1:30 PM - 2:45 PM L会場 (講義棟408号室)

座長:本間敬之(早稲田大学)

主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会

微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．招待講演および一般講演で企画。