3:00 PM - 3:15 PM
〇黒沢 みずき1、近藤 敏彰1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. 首都大 都市環境)
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Schedule
Session information
S19. 電子材料及びナノ機能素子技術
【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション3
Fri. Mar 9, 2018 3:00 PM - 4:30 PM U会場 (講義棟508号室)
座長:新宮原 正三(関西大学)、早瀬 仁則(東京理科大学)
主催：電子材料委員会
半導体集積回路技術や電子実装技術等に用いられる電子材料技術においては，電気化学に基づく手法で様々な機能性電子材料や電子素子開発が検討されている．本シンポジウムでは，これらの機能性材料やマイクロからナノサイズに及ぶ電子素子に関連する最新の研究成果を相互に発表し，活発な討論を行うことを目的とする．具体的には，ナノメーターサイズのメモリやトランジスタなどの素子形成及び性能評価技術，3次元金属配線の形成及び材料技術，絶縁膜材料技術，ナノワイヤ・ナノ粒子の形成と素子化技術，めっき技術，CVD及びALD技術，化学エッチング技術，CMP技術，洗浄技術，及びこれらの技術分野に関連する評価・解析技術などの分野を包むものとする．なお本シンポジウムは，一般講演と招待講演から構成される．
3:15 PM - 3:30 PM
〇矢藤 雄也1、Halid Nur Farhana1、高瀬 舞2、千葉 誠1、兵野 篤1 (1. 旭川工業高等専門学校、2. 室蘭工業大学)
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Schedule
3:30 PM - 3:45 PM
片桐 光彦1、中曽根 康明1、〇松田 翔風1、長山 智男1,2、梅田 実1 (1. 長岡技術科学大学、2. 株式会社リコー)
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Schedule
3:45 PM - 4:00 PM
〇富江 嶺祥1、秋田 貴誉1、生田 諒1、早瀬 仁則1 (1. 東京理科大学理工学部機械工学科)
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Schedule
4:00 PM - 4:15 PM
〇深堂 秀亮1、井芹 崇樹2、上山 慎介1、清水 智弘1、伊藤 健1、新宮原 正三1 (1. 関西大学システム理工学部、2. 関西大学理工学研究科)
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Schedule
4:15 PM - 4:30 PM
〇藤居 稜1、福田 健二1、高坂 祐一1、松本 歩1、八重 真治1 (1. 兵庫県立大学)
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