10:45 AM - 11:00 AM
〇越川 博1、佐藤 裕真2、山本 春也1、杉本 雅樹1、澤田 真一1、八巻 徹也1 (1. 量子科学技術研究開発機構、2. 群馬大学)
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Schedule
Session information
S14. マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術
【マイクロ～ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
セッション4（一般講演4）
Sat. Mar 10, 2018 10:45 AM - 12:00 PM L会場 (講義棟408号室)
座長:和田 裕之(東京工業大学)
主催：ナノ・マイクロファブリケーション研究会
微細構造形成技術はマイクロメートルからナノメートルレベルへ急速に展開し，それに伴い従来の薄膜やリソグラフィ技術に加え，ナノ粒子形成や自己組織化といった新しい技術展開が進んでいる．またその応用も環境・エネルギーからバイオ・医療まで広範囲にわたっており，今後さらに拡大していくと予想される．本シンポジウムではマイクロメートルからナノメートルまでのサイズの微細構造を有する材料・デバイスの形成，及びそれらの応用技術を中心テーマとして扱う．具体的には、薄膜，微粒子等の材料作製から微細構造・デバイス形成、評価技術，加えてそれらを応用するシステム技術についても討論する場としたい．招待講演および一般講演で企画。
11:00 AM - 11:15 AM
〇佐藤 裕真1、越川 博2、山本 春也2、杉本 雅樹2、澤田 真一2、八巻 徹也1,2 (1. 群馬大学、2. 量子科学技術研究開発機構)
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Schedule
11:15 AM - 11:30 AM
〇佐藤 祐太1、國本 雅宏2、柳沢 雅広2、本間 敬之1,2 (1. 早稲田大学院先進理工学研究科、2. 早稲田大学 ナノ・ライフ創新研究機構)
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Schedule
11:30 AM - 11:45 AM
〇一之瀬 玲皇1、近藤 敏彰1、柳下 崇1、益田 秀樹1 (1. 首都大都市環境)
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Schedule
11:45 AM - 12:00 PM
西海 信之1、孫 鶴1、城石 英伸2、松嶋 雄太1、Stadler Philipp3、〇吉田 司1 (1. 山形大学、2. 東京高専、3. Johannes Kepler University Linz)
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