【電子材料及びナノ機能素子技術】
セッション1

[1U06] 高速AFMを用いた銅めっき用添加剤の観察 ―時間平均処理による影響―

〇生田 諒¹、早瀬 仁則¹ (1. 東京理科大学理工学部機械工学科)