ECSJ Fall Meeting, 2019

Presentation information

The State of the Art in Fabrication of Micro- and Nano-structured Materials and Devices

【マイクロ~ナノ構造材料・デバイス形成の最先端技術】
ナノマイクロファブリケーション1(一般講演1)

Thu. Sep 5, 2019 1:30 PM - 2:30 PM Room F (LC-27)

座長:北本 仁孝(東京工業大学)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

1:45 PM - 2:00 PM

[1F02] 蒸着Alの陽極酸化によるナノインプリント用モールドの作製と曲面への微細パターン形成

〇柳下 崇1、小俣 愛美1、益田 秀樹1 (1. 首都大都市環境)