ECSJ Fall Meeting, 2019

Presentation information

The State of the Art in Fabrication of Micro- and Nano-structured Materials and Devices

ナノマイクロファブリケーション2(一般講演2)

Thu. Sep 5, 2019 2:30 PM - 3:30 PM Room F (LC-27)

座長:國本 雅宏(早稲田大学)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

3:15 PM - 3:30 PM

[1F08] 次世代LSI微細配線に向けた無電解Coめっき膜の形成と評価

〇森田 康生1、深堂 秀亮1、清水 智弘2、伊藤 健2、新宮原 正三2 (1. 関西大学大学院、2. 関西大学)