ECSJ Fall Meeting, 2019

Presentation information

The State of the Art in Fabrication of Micro- and Nano-structured Materials and Devices

ナノマイクロファブリケーション3(一般講演3)

Thu. Sep 5, 2019 3:45 PM - 4:45 PM Room F (LC-27)

座長:柳下 崇(首都大学東京)

主催:ナノ・マイクロファブリケーション研究会

4:30 PM - 4:45 PM

[1F12] パルス電析法を用いたTES型マイクロカロリメータ用Fe吸収体作製の検討

〇佐藤 瑠美1、齋藤 美紀子1、紺野 良平2,3、林 佑2、山崎 典子2、満田 和久2、本間 敬之1 (1. 早稲田大学、2. 宇宙科学研究所、3. 北里大学)